Proceedings of the International scientific and practical conference ―Science, technology and art in global context (July 8-10, 2025) / OP website: www.naukainfo.com. – Dresden, Germany, 2025. - 140 p.

5 сенсори поєднують у собі можливості механічного чутливого елемента, електроніки та обчислювального модуля, що забезпечує не лише збирання інформації, а й її обробку, фільтрацію, адаптацію до зовнішніх умов та інтеграцію у складні автоматизовані системи приладобудування. MEMS-технології являють собою міждисциплінарний напрямок, що поєднує мікромеханіку, мікроелектроніку та мікросистемну інженерію. Основною перевагою таких технологій є можливість створення сенсорів з мікроскопічними розмірами, низьким енергоспоживанням, високою чутливістю, швидкодією та здатністю працювати в умовах високих навантажень, вібрацій, температурних перепадів. Завдяки використанню кремнієвих підкладок, сучасних методів фотолітографії та тонкоплівкового осадження, стало можливим створення мікромеханічних структур, здатних реагувати на прискорення, тиск, деформації, магнітне поле, звук, температуру тощо[1, с. 150]. Інтелектуальні сенсори нового покоління не лише фіксують фізичні параметри середовища, а й здатні самостійно аналізувати дані завдяки вбудованим мікропроцесорам. Вони можуть виконувати функції лінійної та нелінійної фільтрації, компенсувати похибки, калібруватися в реальному часі, виявляти аномалії, реалізовувати прості алгоритми штучного інтелекту, зокрема нейромережеві підходи. Така автономність дозволяє зменшити навантаження на центральні обчислювальні модулі складних систем керування, підвищити точність і надійність вимірювань. У приладобудуванні інтелектуальні MEMS-сенсори знаходять широке застосування. В авіації та космічній галузі вони використовуються для визначення орієнтації, положення та навігації, контролю вібрацій та температури. У медицині — для розробки портативних діагностичних пристроїв, моніторингу життєво важливих параметрів пацієнта, створення біосенсорів для визначення рівня глюкози, тиску, частоти серцевих скорочень. У промисловості — для автоматизованого контролю процесів, виявлення витоків, моніторингу стану обладнання, у тому числі в умовах жорстких